Магістерська дисертація містить наступні складові: список умовних позначень та скорочень, вступ, п’ять основних розділів, загальні висновки та список посилань на використану літературу. Містить 83 сторінки, 18 рисунків, 28 таблиць, 19 посилань.
Мета і задача дисертації. Проведення дослідження двоканального ємнісного МЕМС чутливого елемента на основі автоматизованої системи стабілізації.
- Перегляди: 144